光学非球面超精密磨削中微振动对磨削质量的影响研究

光学非球面超精密磨削中微振动对磨削质量的影响研究光学非球面元件广泛应用于各种光学系统中，具有极高的技术要求和精密程度。为了达到其所需的精度要求，需要在制造过程中进行超精密磨削来实现。然而，磨削中往往存