MEMS热式加速度传感器的灵敏度和带宽研究

MEMS热式加速度传感器的灵敏度和带宽研究摘要MEMS热式加速度传感器在物理量测量和自动控制系统中的应用日益广泛，因其具有高精度和小体积等优势。本文主要研究MEMS热式加速度传感器的灵敏度和带宽，介绍