高功率脉冲磁控溅射ZrN纳米薄膜制备及性能研究

高功率脉冲磁控溅射ZrN纳米薄膜制备及性能研究一、绪论随着科技的不断发展和应用的需求不断增加，纳米材料的制备和应用在各个领域都得到了广泛的关注。纳米薄膜作为纳米材料的重要表现形式，已经在光学、电子、化