XRD法计算4HSiC外延单晶中的位错密度

XRD法计算4H_SiC外延单晶中的位错密度Vo1l 30 ,No1 7 ,pp 第 3 0 卷 , 第 7 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 Spect ro scop y a nd Spect