MOCVD制备非晶硅薄膜太阳电池的氧化锌背电极的研究

MOCVD制备非晶硅薄膜太阳电池的氧化锌背电极的研究徐步衡，薛俊明，刘金彪，赵颖，耿新华（南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，天津，300071）（南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室）(光_