具有二维特征的MEMS器件系统级模拟方法研究的任务书

具有二维特征的MEMS器件系统级模拟方法研究的任务书任务书一、任务背景在现代微电子技术中，微电子机械系统（MEMS）器件已经成为了一个非常重要的领域，其体积小、功耗低、精度高、集成度高等特点得到了广泛