tftAAA真空蒸发镀膜原理

A. 真空电镀原理: 一般而言,镀膜在真空镀膜机内以真空度1~5 x 10 -4 Torr程度进行(1 Torr = 1 公厘水银柱高的压力,大气压为760 Torr)。其镀膜膜厚约为0.1 ~ 0.