柱状与孔状图形衬底对MOVPE生长GaN体材料及LED器件的影响

柱状与孔状图形衬底对MOVPE生长GaN体材料及LED器件的影响柱状与孔状图形衬底对MOVPE生长GaN体材料及LED器件的影响 文章编号:20082432 柱状与孔状图形衬底对MOVPE生长 *Ga