离子束溅射沉积制备TiO2薄膜及其光学特性研究

离子束溅射沉积制备TiO2薄膜及其光学特性研究近年来，研究者们对于TiO2薄膜的制备和光学特性进行了深入的研究。其中离子束溅射沉积（Ion Beam Sputtering Deposition，IBS