仿生纤毛MEMS矢量流速传感器的结构设计及仿真分析

仿生纤毛MEMS矢量流速传感器的结构设计及仿真分析标题：仿生纤毛MEMS矢量流速传感器的结构设计及仿真分析摘要：随着科技的不断发展，微电子力学系统（MEMS）在传感器领域得到广泛应用。本论文以仿生纤毛