基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术的任务书

基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术的任务书任务书项目名称：基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术项目背景：随着半导体工艺的不断发展，器件的尺寸不断地

Ptychography 基于的极紫外光刻投影物镜波像差 检测技术的任务书 任务书 项目名称：基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测 技术 项目背景： 随着半导体工艺的不断发展，器件的尺寸不断地缩小，对于光刻投 影物镜的需求也越来越高。而光刻投影物镜波像差检测是目前极紫外光 刻技术中的一个难点问题。因此，发展一种高精度、高速度、非接触的 波像差检测技术成为了机遇和挑战。Ptychography被广泛认为是一种全 场的亚像元级的逆问题求解技术，适用于大面积图像的高精度重建，因 此可以用于极紫外光刻投影物镜波像差检测领域。 项目意义： 光刻投影物镜波像差对于器件制造的成功率、稳定性和品质都有重 要的影响。而且现有的波像差检测方法不能很好地适应极紫外光刻技术 的发展对于波像差的高精度、高速度、非接触需求。此次项目旨在研究 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术，能够为极 紫外光刻技术的发展提供新的思路和技术支撑，同时也为半导体工艺的 不断进步做出贡献。 项目目标： 本项目的主要目标是研究并设计一种基于Ptychography的极紫外 光刻投影物镜波像差检测技术，具体包括以下几个方面： 1.研究极紫外光刻投影物镜波像差检测技术的理论和应用。