硅片扩散后去PSG清洗设备

硅片扩散后去PSG清洗设备. 1.什么是磷硅玻璃(PSG) 在扩散过程中发生如下反应: 4PCL3+3O2→2P2O5+6CL2↑ POCL3分解产生的P2O5淀积在硅片表面,P2O5与Si反应生成S