PZT铁电薄膜的中低温磁控溅射制备及其性能研究的任务书

PZT铁电薄膜的中低温磁控溅射制备及其性能研究的任务书一、课题背景和研究意义铁电材料因其自发极化和反转极化特性，广泛应用于传感器、声学器件、无线电器件以及存储器件等领域。其中，PZT为铁电材料中应用最