NiTi合金薄膜生长初期的实验研究

NiTi合金薄膜生长初期的实验研究NiTi合金是一种具有形状记忆功能的智能材料，广泛应用于医疗、航空航天、汽车和制造等领域。其中，薄膜技术是一种重要的制备NiTi合金薄膜的方法。本文将介绍NiTi合金

NiTi 合金薄膜生长初期的实验研究 NiTi 合金是一种具有形状记忆功能的智能材料，广泛应用于医疗、 NiTi 航空航天、汽车和制造等领域。其中，薄膜技术是一种重要的制备 NiTi 合金薄膜的方法。本文将介绍合金薄膜的生长过程和初期实验研 究，探讨其在实际应用中的重要性和潜在应用前景。 NiTi 一、合金薄膜生长过程 1. 基础知识 NiTi 合金是由镍和钛两种原子组成的金属材料。该合金表现出形状 NiTi 记忆效应、超弹性和良好的耐腐蚀性。合金的形状记忆效应是由于 其具有两种不同的晶格结构：马氏体和奥氏体。马氏体结构可以发生可 逆的形状变化，奥氏体结构可以发生塑性变形，从而实现形状记忆效 应。 2. 薄膜制备方法 NiTi 薄膜技术是制备合金薄膜的常用方法。其中，物理气相沉积 PVDCVD （）和化学气相沉积（）是两种较常见的技术。物理气相沉积是 NiTi 通过在真空中蒸发合金，然后通过沉积在晶体表面来生长薄膜。化 NiTi 学气相沉积是通过热分解金属有机化合物和氧化钛等来生长合金薄 膜。这两种方法都有一定的缺点，如产生含杂质的薄膜或需要高温等情 况。 3. 薄膜生长过程 NiTi 合金薄膜的生长是一个复杂的过程，通常可以分为两个阶段： NiTi 核生长和晶体生长。核生长阶段是在晶体表面形成合金微小凝聚 核，然后逐渐生长成大晶体。晶体生长阶段是大晶体的不断生长和完 NiTi 善，直到形成一致的合金薄膜。 NiTi 二、合金薄膜生长初期实验研究