原子层沉积方法制备稀土Gd掺杂SiO2薄膜电致发光器件

原子层沉积方法制备稀土Gd掺杂SiO2薄膜电致发光器件一、引言电致发光（EL）器件作为一种重要的光电器件，在显示技术、照明、室内装饰、交通信号及安全标志以及医疗等领域具有重要的应用价值。稀土掺杂硅氧化