激光外差干涉系统测量不确定度分析

激光外差干涉系统测量不确定度分析陈洪芳 1 钟志 21 北京 工业大学机械工程与应用电子技术学院 2 哈尔滨工程大学信息与通信工程学院外差干涉仪是使用两种不同频率的单色光作为测量光束和参考光束，通过光