MEMS仿生矢量水声传感器设计及其工艺研究的综述报告

MEMS仿生矢量水声传感器设计及其工艺研究的综述报告MEMS仿生矢量水声传感器是一种新型的水声传感器。它通过仿生学原理，将海豚的颚骨设计成微型声传感器来实现对水声信号的探测。它具有尺寸小、精度高、灵敏