基于以太网的低温等离子体测控系统

基于以太网的低温等离子体测控系统基于以太网的低温等离子体测控系统摘要：低温等离子体技术在众多领域中具有广泛应用，如半导体工业、材料加工等。为了实现对低温等离子体的实时监测和控制，本文提出了一种基于以太