热处理改善未掺杂LEC　GaAs中EL2分布均匀性的机理研究

热处理改善未掺杂LEC　GaAs中EL2分布均匀性的机理研究摘要：本研究旨在探究热处理对未掺杂LEC GaAs中EL2分布均匀性的影响，并分析其机理。通过实验发现，经过热处理后，LEC GaAs中EL