超大口径凹非球面反射镜的动态干涉测量技术

超大口径凹非球面反射镜的动态干涉测量技术摘要超大口径凹非球面反射镜在天文望远镜、光学测量系统等领域中拥有广泛的应用。而其表面形状高度精度的测量则是其中关键的技术之一。本文主要介绍了动态干涉测量技术在超