ZnO纳米半导体材料制备
ZnO纳米半导体材料制备 摘 要:文章阐述了一些制备ZnO纳米半导体材料的常用技术,如模板制备法、物理气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、金属有机化合物气相沉积,并分析了各种方法的优缺点。 关键词:Z
ZnO纳米半导体材料制备