现代控制理论大作业(共12页)

现代控制理论大作业 老 师： 周 晓 敏姓 名： 李 维 奇班 级： 机研141班学 号： s 2015年1月一.系统的工程背景及物理描述超精密机床是实现超精密加工的关键设