纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究

纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究摘要：本文通过采用双极氩弧离子镀技术制备了一种纳米弹性复合DLC薄膜，并研究了其摩擦性能。结果表明，该薄膜具有优异的机械弹性和超低摩擦系数，可以作为一种优秀