半导体代工厂洁净室设计监控和管理案例分析

半导体代工厂洁净室的设计、监控和管理事例解析在半导体代工厂中,洁净室系统为整条生产线供给洁净的环境,是硅芯片赖以生产加工最基本的条件。洁净室,是指将必定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染