半超结型VDMOS的设计与仿真优化

半超结型VDMOS的设计与仿真优化半超结型VDMOS的设计与仿真优化半超结型VDMOS是现今主流的大功率MOSFET之一，它采用了半超结的结构，的确比传统的VDMOS功率晶体管在高电压场下具有更好的性