《EDS元素分析》word版

EDS元素分析实验目的1.了解能谱仪（EDS）的结构和工作原理。2.掌握能谱仪（EDS）的分析方法、特点及应用。实验原理 在现代的扫描电镜和透射电镜中，能谱仪（EDS）是一个重要的附件，它同主机