超薄栅氧化层经时击穿效应与可靠性仿真技术与研究

摘摘要要本文对超薄栅氧化层经时击穿 ( !̀́ DDB)击穿机理和可靠性表征方法以及深亚微米MOs器件热载流子效应 ( HCE)进行了系统研究。主要研究结果如下:首先，利用衬底热空穴( ( S HH)