金刚石悬浮液抛光单晶锗片实验研究

、壬3科■區2021年第3%卷第3期Electronic Sei. & Tech. /Mao. 17 ,2021金刚石悬浮液抛光单晶f片实验研究杨晓京，赵垒(昆明理工大学机电工程学院，云南昆明6505