飞秒激光微加工钽酸锂波导及其特性的研究

飞秒激光微加工钽酸锂波导及其特性的研究飞秒激光微加工钽酸锂波导及其特性的研究摘 要随着信息技术的发展，对光通信领域高性能设备的需求也日益增长。钽酸锂波导作为一种重要的光学器件，在光通信和光子集成电路方