用Talbot效应及云纹干涉法测试镜面反射体曲率和斜率的灵敏度分析

用Talbot效应及云纹干涉法测试镜面反射体曲率和斜率的灵敏度分析镜面反射体曲率和斜率的精确测试一直是光学实验中的难题之一。目前常用的方法如Zygo等干涉仪测量表面形貌和商用陀螺仪等测量表面斜率。然而