一种新颖的微纳流体器件制造方法与痕量富集应用

一种新颖的微纳流体器件制造方法与痕量富集应用一种新颖的微纳流体器件制造方法与痕量富集应用摘要：本文介绍了一种新颖的微纳流体器件制造方法，利用微纳米加工技术，先将流道和微结构芯片加工出来，再采用一种新颖