单晶硅制备 直拉法

- 直拉生长工艺 - 直拉法又称Cz法,目前,98%的电子元件都是用硅材料制作的,其中约85%是用直拉硅单晶制作的，直拉硅单晶由于具有较高的氧含量,机械强度比Fz硅单晶大,在制