氮化铝周期性微纳结构阵列的可控制备研究的开题报告

氮化铝周期性微纳结构阵列的可控制备研究的开题报告一、研究背景近年来，氮化铝（AlN）由于其具有优异的物理、化学和电学性能，如高热导率、高硬度、高稳定性、高电子迁移率等，被广泛应用于LED、功率电子、R