干涉测量中PZT移相伸长量反馈传感器的设计研究

干涉测量中PZT移相伸长量反馈传感器的设计研究概述：干涉测量是一种精度高、测量范围广的光学测量方法。在干涉测量中，一个重要的问题是如何测量位移。本文主要介绍了移相方法及PZT传感器在干涉测量中的应用。