集成电路中金属硅化物的发展与演变

集成电路中金属硅化物的发展与演变作者：方志军，汤继跃，许志，应用材料（中国）公司   2008-09-02   点击:296　　金属硅化物在VLSI/ULSI器件技术中起着非常重要的作用，被广泛应用于