基于SOI的MEMS压阻式高温压力敏感芯片的研制

基于SOI的MEMS压阻式高温压力敏感芯片的研制摘要：本文介绍基于SOI的MEMS压阻式高温压力敏感芯片的研制。首先介绍了MEMS技术的基本原理和应用领域，然后阐述了SOI技术的特点和优势。接着详细介