专用集成电路设计实践西电版第2章集成电路工艺基础

- 第2章 集成电路工艺基础 - 2.1　引言 2.2　集成电路制造工艺概述 2.3　双极集成电路的基本制造工艺 2.4　CMOS集成电路的基本制造工艺 2.5　BiCMOS集