垂直于工件平面的二维超声振动辅助磨削单晶硅表面形成机制的试验研究

垂直于工件平面的二维超声振动辅助磨削单晶硅表面形成机制的试验研究垂直于工件平面的二维超声振动辅助磨削单晶硅表面形成机制的试验研究摘要：随着工业科技的不断发展，对高精度、高质量的表面加工需求日益增加。针