复掺杂与高温退火对ZnO薄膜的结构和光学性质的影响研究的综述报告

复掺杂与高温退火对ZnO薄膜的结构和光学性质的影响研究的综述报告概述氧化锌（ZnO）薄膜是一种常见的氧化物，应用广泛，其中，复掺杂和高温退火在其结构和光学性质上都有不同的影响。本文对复掺杂和高温退火对

ZnO 复掺杂与高温退火对薄膜的结构和光学性质的 影响研究的综述报告 概述 氧化锌（ZnO）薄膜是一种常见的氧化物，应用广泛，其中，复掺 杂和高温退火在其结构和光学性质上都有不同的影响。本文对复掺杂和 高温退火对ZnO薄膜结构和光学性质的影响进行了综述。 复掺杂 介绍 ZnO薄膜的复掺杂通常是指使用两种或两种以上的杂质掺入ZnO 晶格中，以期改善其光电性能，其中，氮、锗和稀土元素等都常用于掺 杂。ZnO薄膜的复掺杂可以通过化学气相沉积、磁控溅射等方法实现。 结构和光学性质的影响 复掺杂可以改变ZnO薄膜的晶体结构和光学性质。在复掺杂氮和锗 的ZnO薄膜中，氮主要掺入ZnO晶格中的氧空位，形成了氮氧空位复 合体，并导致大量的氮和氧原子缺陷。这种氮和氧原子缺陷能够降低 ZnO薄膜的电阻率，并显著地改善光电性能。随着氮和锗掺杂浓度的增 加，该薄膜的透过率和荧光峰强度均有所提高。 在ZnO薄膜中掺入稀土元素，如镧、铈和钆等，可以显著地改善其 光电性能。稀土元素可以被掺入ZnO晶格或其表面上的氧空位中，形成 相应的稀土掺杂物和氧空位掺杂物。这些掺杂物的产生会引起ZnO薄膜 的能带结构发生变化，并增强其荧光强度。当稀土元素的浓度达到一定 程度时，会发生自激增强效应，荧光峰强度会进一步增强。 高温退火 介绍