多孔SiOCH薄膜O等离子体表面处理研究

苏州大学硕士学位论文多孔SiOCH薄膜的O等离子体表面处理研究姓名：钱晓梅申请学位级别：硕士专业：凝聚态物理指导教师：宁兆元;叶超20070401多孔SiOCH薄膜的。等离子体表面处理研究 中文摘要