MEMS加速度计温度场及残余应力模型研究的任务书

MEMS加速度计温度场及残余应力模型研究的任务书任务书: MEMS加速度计温度场及残余应力模型研究一、研究背景与意义MEMS加速度计是一种常见的微机电系统(MEMS)器件，广泛应用于空间航天、汽车、手