微执行器导论

微执行器导论-读书笔记摘要：微执行器可用来产生力和机械运动，是微机电系统中的重要组成部分。根据敏感源和执行方式的不同,微执行器主要分为静电执行器、热执行器、压电执行器、磁执行器等四大类。本文从原理、制