磁控溅射法制备薄膜材料实验报告

实验一 磁控溅射法制备薄膜材料实验目的 1、详细掌握磁控溅射制备薄膜的原理和实验程序； 2、制备出一种金属膜，如金属铜膜； 3、测量制备金属膜的电学性能和光学性能； 4、掌