流化床化学气相沉积法制备高质量氮化钛粉体研究

流化床化学气相沉积法制备高质量氮化钛粉体研究流化床化学气相沉积法制备高质量氮化钛粉体研究摘要：氮化钛是一种具有较高热导率、较高熔点和较好耐腐蚀性能的材料，因此在各种领域有着广泛的应用前景。本研究使用流