溶液环境中利用声学、磁力、光热和静电力驱动微悬臂的动力学分析比较

溶液环境中利用声学、磁力、光热和静电力驱动微悬臂的动力学分析比较随着微纳米技术的发展，微纳米机械系统（MEMS）在各个领域中得到了广泛的应用。其中微悬臂作为一种广泛使用的微机械结构，在化学、药物、生物