精密电铸微成型装备设计及其工艺实验研究的开题报告

精密电铸微成型装备设计及其工艺实验研究的开题报告一、选题意义随着现代微电子、光电子技术、纳米材料等领域的不断发展，对精密电铸微成型装备的需求越来越高。该装备可以高效、高精度地制造微小型、复杂型、高性能