掺Ge氧化硅薄膜波导制备工艺与应力研究

掺Ge氧化硅薄膜波导制备工艺与应力研究掺Ge氧化硅薄膜波导制备工艺与应力研究摘要：掺Ge氧化硅材料是一种优秀的光学材料，具有很高的折射率、低损耗和强大的光学导波性能，广泛应用于光子学器件中。本文针对掺