MEMS压阻式小量程压力传感器封装可靠性的研究的综述报告

MEMS压阻式小量程压力传感器封装可靠性的研究的综述报告随着微电子技术和微机电系统（MEMS）的发展，MEMS压阻式小量程压力传感器因其小体积、高精度、低耗能等优势而受到越来越多的关注。但是MEMS技