批处理离子注入机台锥角效应及注入角度对产品的影响

批处理离子注入机台锥角效应及注入角度 对产品的影响朱红波1，周祖源2，何永根2，秦宏志1（1. 中芯国际集成电路制造（北京），北京 100176； 2. 中芯国际集成电路制造（上海），上海 20120