基于分形的MEMS器件离面位移的测量的开题报告

基于分形的MEMS器件离面位移的测量的开题报告题目：基于分形的MEMS器件离面位移的测量一、研究背景和意义MEMS技术是将微电子、微纳制造和传感技术结合起来的一种新型技术，具有体积小、重量轻、响应速度